公共技术服务中心的Vistec EBPG5000+电子束直写系统已经安装调试完毕，自2016年1月18日起正式开放共享。该系统的曝光分辨率优于20nm，电子束高压100kV，在曝光过程中可自动改变束流大小，提高电子束曝光的效率。