主讲人简介：

郇庆，研究员。中科院物理研究所技术部电子学仪器部（TS01组）负责人/组长，博导。多年以来致力于物质科学仪器装备自主研制和研究应用，带领团队主持设计并搭建了包括扫描隧道/探针显微镜、分子束外延、原子层沉积、脉冲激光沉积系统等多种物性表征和材料制备设备10余台套以及一批核心关键部件。多项研发成果入选《中科院科研仪器自主研制仪器设备名录》，并在国内外数十所高校和科研机构推广应用。曾获得中科院“引进杰出技术人才”、中科院“关键技术人才”、基金委“国家杰出青年”等人才项目支持。

 

报告摘要：

我国在科学仪器研制方面相对落后，目前开展科研所用的仪器设备，特别是高端科研仪器绝大部分依赖进口。本报告将介绍主讲人课题组近些年来在材料制备与表征设备研制方面的进展，包括扫描隧道/探针显微镜、新一代高通量薄膜制备系统、分子束外延等系统和部件。